Вакуумный пост НИКА-2013-500-ВП (исполнение НИКА-2013-ВП с горизонтальной малогабаритной камерой).

Камера водоохлаждаемая, из нержавеющей стали, размер Ø500х400 мм.

Безмасляная откачка (турбомолекулярный или криогенный насос).

Все откачные устройства интегрированы в единую стойку.

Боковые фланцы Ø500 мм на независимых подвесах с возможностью горизонтального перемещения.

Отличие предусматривает размещение на заднем фланце технологических устройств (кол-во определяется ТЗ). Передний фланец - рабочий, для размещения загрузки.

Системы управления (БУВС, ПК, монитор), охлаждения (БВР, СОВА-опционально), контроля вакуума (ВМЦ, ВТРЦ) входят в состав вакуумного поста штатно как и в НИКА-2013-ВП.

Конструкция вакуумного поста позволяет использовать фланцы вакуумных постов серии НИКА-12-500.

Площадь размещения с зоной обслуживания 7 м2.

Основное применение для специальных задач, требующих горизонтального размещения загрузки.

Электрические параметры
Подключение к сети 3ф 380В (3P+N+PE)
Общие характеристики
Габаритные размеры 1600 мм х 850 мм х 2100 мм (Ширина х Глубина х Высота)
Вакуумный пост
Бустерный насос Опция
Стандартная комплектация БУВС - блок управления вакуумной системой; БВР - блок водораспределения; ВМЦ - вакуумметр магниторазрядный (высокий вакуум) 1 шт.; ВТРЦ - вакуумметр терморезистивный (низкий вакуум) 3 шт.; Система управления - Компьютер, монитор (сенсорный), ПУ (пульт управления) Панель подключений
Компоновка Камера - горизонтальная, рабочий фланец - передний, задний фланец - для технологических устройств. Фланцы по размерам унифицированы с вакуумным постом НИКА 12-500 (Ø500 мм, 6 унифицированных посадочных места ISO63)
Средства откачки Откачка сухая, безмасляная. Высокий вакуум - ТМН (турбомолекулярный насос) или Крионасос; Форвакуум - спиральный насос. Выбор модели определяется в ТЗ на установку
Вакуумная камера
Ориентация Горизонтальная
Материал AISI316
Диаметр 500 мм
Длина 400 мм
Окна 1 х ISO160 (варианты исполнений предусмотрены)

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

НИКА-2013-500-ВП

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.
  • Доступность: Предзаказ

Доступные опции