Вакуумный пост серии НИКА-2013 с горизонтальной камерой уменьшенного размера предназначена для специальных задач, требующих горизонтального размещения загрузки.

Установка оснащена:

  • вакуумной камерой: Ø500 х 400 мм;
  • площадь размещения с зоной обслуживания: 3 м²;
  • системой водного охлаждения;
  • системой безмасляной откачки (криогенный или турбомолекулярный насосы);
  • смотровыми окнами.

В единой стойке размещаются устройства откачки, автоматики, блоки питания технологических устройств.

Боковые фланцы Ø500 мм размещены на независимых подвесах с возможностью горизонтального перемещения. 

Конструкция вакуумного поста позволяет использовать фланцы вакуумных постов серии НИКА-12-500.

На заднем фланце предусмотрено размещение технологических устройств. Передний рабочий фланец служит для размещения загрузки. 

Камера имеет боковой фланец ISO160 для размещения смотрового окна или дополнительного оборудования.

Монтаж в стойку обеспечивает пространство до 24U для блоков питания и другого оборудования. 

Электрические параметры
Подключение к сети 3ф 380В (3P+N+PE)
Общие характеристики
Габаритные размеры (ДхШхВ), мм 1600 мм х 850 мм х 2100 мм (Ширина х Глубина х Высота)
Вакуумный пост
Бустерный насос Опция
Стандартная комплектация БУВС - блок управления вакуумной системой; БВР - блок водораспределения; ВМЦ - вакуумметр магниторазрядный (высокий вакуум) 1 шт.; ВТРЦ - вакуумметр терморезистивный (низкий вакуум) 3 шт.; Система управления - Компьютер, монитор (сенсорный), ПУ (пульт управления) Панель подключений
Компоновка Камера - горизонтальная, рабочий фланец - передний, задний фланец - для технологических устройств. Фланцы по размерам унифицированы с вакуумным постом НИКА 12-500 (Ø500 мм, 6 унифицированных посадочных места ISO63)
Средства откачки Откачка сухая, безмасляная. Высокий вакуум - ТМН (турбомолекулярный насос) или Крионасос; Форвакуум - спиральный насос. Выбор модели определяется в ТЗ на установку
Вакуумная камера
Ориентация Горизонтальная
Материал AISI316
Диаметр 500 мм
Длина 400 мм
Окна 1 х ISO160 (варианты исполнений предусмотрены)

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

НИКА-2013-500-ВП

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.
  • Доступность: ㅤㅤ ㅤㅤ
  • Цена договорная


Доступные опции


Теги: Ника - 2013-500-ВП, вакуумный пост