Малогабаритный вакуумный пост с вертикальной камерой Ника - 2012-ВП предназначен для малосерийного производства и опытно-экспериментальных работ. Альтернатива установкам серии УВН-71.
Установка оснащена:
- вакуумной камерой: 700 х 700 мм;
- с зоной обработки: Ø500 х 400 мм;
- площадь размещения с зоной обслуживания: 3 м²;
- системой водного охлаждения;
- системой сухой безмасляной откачки (спиральный форвакуумный и криогенный или турбомолекулярный насосы);
- смотровыми окнами.
Конструкция камеры унифицирована, для установки технологических устройств предусмотрено до 10 посадочных мест.
Загрузка размещается на горизонтальной карусели или на вертикальном барабане.
В стойке 19' размещаются устройства откачки, автоматики, блоки питания технологических устройств.
| Электрические параметры | |
| Подключение к сети | 3ф 380В (3P+N+PE) |
| Общие характеристики | |
| Габаритные размеры (ДхШхВ), мм | 1430/2230 мм х 1004/1440 мм х 2100мм (Ширина х Глубина х Высота с закрытыми/открытыми дверями шкафа) |
| Вакуумный пост | |
| Стандартная комплектация | БУВС - блок управления вакуумной системой; БВР - блок водораспределения; ВМЦ - вакуумметр магниторазрядный (высокий вакуум) 1 шт.; ВТРЦ - вакуумметр терморезистивный (низкий вакуум) 3 шт.; Система управления - Компьютер, монитор (сенсорный), ПУ (пульт управления) Панель подключений |
| Компоновка | Камера вертикальная, рабочий фланец - нижний |
| Средства откачки | Откачка сухая, безмасляная. Высокий вакуум - ТМН (турбомолекулярный насос) или Крионасос; Форвакуумный спиральный насос. |
| Вакуумная камера | |
| Ориентация | вертикальная |
| Материал | Нержавеющая немагнитная сталь (AISI316) |
| Диаметр | 500 мм |
| Высота | 450 мм (варианты возможны) |
| Окна | 1 х ISO160 (варианты исполнений предусмотрены) |
| Рабочий фланец | нижний, предусмотрены посадочные места под технологические устройства - 5 (ISO63) |
Ника - 2012-ВП Вакуумный пост
- Производитель: Beams&Plasmas
- Код товара: НИКА-2012-ВП ЛЦМК.125.00.00.00.000
- Доступность: ㅤㅤ ㅤㅤ
-
Цена договорная
Доступные опции
Теги: Ника - 2012-ВП, Вакуумный пост