Установка вакуумного нанесения PVD покрытий НИКА-170 предназначена для нанесения многослойных PVD покрытий различного назначения.
Установка НИКА-170 специализированная установка напыления нанесения хрома и меди на пресс-формы и инструмент .Технологии (в зависимости от комплектации): CAE, DCMS, HiPIMS, PARMS, Hybrid. В комплектации магнетронами установка позволяет наносить металлизированные слои на керамические, кремниевые, сапфировые, кварцевые подложки и оптику, которые используются для производства микросборок. Вертикальная геометрия при размещении подложек в камере дает минимальную дефектность при нанесении многокомпонентных слоев.

Установка оснащена:

вакуумной камерой: 700 х 750 мм;
с зоной обработки: Ø520 х 500 мм;
системой автоматического программного управления с сенсорной панели компьютера;
источником ионов ИИ-500 для предварительной ионной очистки;
магнетроном-500 (для напыление меди);
магнетронами - 4 шт. (для напыления хрома);
тележкой со сменной планетарной каруселью;
заслонкой для отпыливания;
вакуумным вводом вращения карусели и заслонки;
комплектом оснастки для установки заготовок;
одним смотровым окном;
системой оборотного автоматического водоснабжения (СОВА);
средствами откачки: турбомолекулярным насосом и форвакуумным насосом;
системой откачки: сухой, безмасляной.

Электрические параметры
Максимальное потребление тока по фазам, А	45
Мощность, кВт	35,5
Напряжение питания, В	380 (+10-15) %
Общие характеристики
Предельный вакуум, Па	не более 6·10-4
Рабочие газы	аргон, азот, метан/ацетилен, воздух
Рабочий вакуум, Па	не более 5·10-3
Время достижения предельного вакуума, мин.	30
Время достижения рабочего вакуума, мин.	20
Масса, кг	не более 1000 (без учета блока СОВА)
Количество каналов газонапуска, шт	2
Выходные параметры
Схема подключения к электроснабжению	TN-S