НИКА-133 Установка магнетронного напыления - малогабаритная установка, выполненная на базе вакуумного поста серии 2013-500 с камерой уменьшенного размера.
Вакуумная установка обеспечивает в одном цикле напыление трех проводящих слоев с ионной очисткой кремниевых пластин Ø100 мм.
Одновременно обрабатывается до 6 пластин Ø100 мм.
Установка оснащена:
В одной установке размещены средства откачки и управления.
Рабочий цикл после закрытия камеры включается автоматически: откачка, очистка, последовательное напыление трех металлов.
Все процессы автоматизированы.
Надежная система блокировок позволяет избежать случайных ошибок, защитить персонал, оборудование.
| Электрические параметры | |
| Максимальное потребление тока по фазам, А | 31 А |
| Мощность, кВт | 15 КВт |
| Напряжение питания, В | 380В +10-15 % |
| Общие характеристики | |
| Предельный вакуум, Па | не более 3·10-4 Па |
| Рабочие газы | Азот, аргон, кислород |
| Рабочий вакуум, Па | 1·10-3 Па |
| Время достижения рабочего вакуума, мин. | не более 20 мин |
| Масса, кг | не более 650 кг |
| Количество каналов газонапуска, шт | 3 |
Нет отзывов об этом товаре.