Распылительная система для круглых мишеней из проводящих мишеней диаметром 50 мм.

Назначение: эффективное распыление мишеней из проводящих материалов ионной бомбардировкой в плазме аномального тлеющего разряда.

В режиме постоянного тока возможно нанесение металлов, сплавов (в том числе резистивных) с сохранением стехиометрического состава. При использовании импульсного среднечастотного питания возможно напыление полупроводников, а также диэлектриков в реактивном режиме из металлических мишеней.

Минимальный расход ОЖ при рабочей мощности 1 кВт 1 л/мин

Охлаждающая жидкость (рекомендуемая) дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде по ГОСТ 6709-72

Для различных применений есть специальные исполнений.

Измерение давления
Диапазон рабочих давлений, Па 0,07..10 Па
Магнетрон
Максимальная мощность, Вт 1000 Вт
Рабочий газ Аргон
Диаметр мишени 50 мм
Максимальная толщина мишени 3 мм
Рабочее напряжение, В 300-800 В
Максимальный ток, А 5 А

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Магнетрон Д50

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.Э237
  • Доступность: ㅤㅤ ㅤㅤ
  • Цена договорная


Теги: магнетрон, круглый магнетрон