НИКА-133 Установка магнетронного напыления - малогабаритная установка, выполненная на базе вакуумного поста серии 2013-500  с камерой уменьшенного размера.

Вакуумная установка обеспечивает в одном цикле напыление трех проводящих слоев с ионной очисткой кремниевых пластин Ø100 мм.
Одновременно обрабатывается до 6 пластин Ø100 мм.

Установка оснащена:

  • системой автоматического программного управления;
  • тремя магнетронами (каждый магнетрон оснащен поворотным экраном), для напыления металлических слоев;
  • источником ионов для очистки поверхности подложек;
  • каналом подачи рабочего газа;
  • каналом подачи газа для охлаждения подложек;
  • водоохлаждаемым столом;
  • каруселью на 6 подложек ∅100 мм.

В одной установке размещены средства откачки и управления.
Рабочий цикл после закрытия камеры включается автоматически: откачка, очистка, последовательное напыление трех металлов.
Все процессы автоматизированы.
Надежная система блокировок позволяет избежать случайных ошибок, защитить персонал, оборудование.

Электрические параметры
Максимальное потребление тока по фазам, А 31 А
Мощность, кВт 15 КВт
Напряжение питания, В 380В +10-15 %
Общие характеристики
Предельный вакуум, Па не более 3·10-4 Па
Рабочие газы Азот, аргон, кислород
Рабочий вакуум, Па 1·10-3 Па
Время достижения рабочего вакуума, мин. не более 20 мин
Масса, кг не более 650 кг
Количество каналов газонапуска, шт 3

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

НИКА-133 Установка магнетронного напыления

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.133
  • Доступность: ㅤㅤ ㅤㅤ
  • Цена договорная


Теги: НИКА-133, 133