НИКА-133 Установка магнетронного напыления - малогабаритная установка, выполненная на базе вакуумного поста серии 2013-500  с камерой уменьшенного размера.

Вакуумная установка обеспечивает в одном цикле напыление трех проводящих слоев с ионной очисткой кремниевых пластин Ø100 мм.
Одновременно обрабатывается до 6 пластин Ø100 мм.

Установка оснащена:

• системой автоматического программного управления;
  
• тремя магнетронами (каждый магнетрон оснащен поворотным экраном), для напыления металлических слоев;
• источником ионов для очистки поверхности подложек;
• каналом подачи рабочего газа;
• каналом подачи газа для охлаждения подложек;
  
• водоохлаждаемым столом;
• каруселью на 6 подложек ∅100 мм.
  

В одной установке размещены средства откачки и управления.
Рабочий цикл после закрытия камеры включается автоматически: откачка, очистка, последовательное напыление трех металлов.
Все процессы автоматизированы.
Надежная система блокировок позволяет избежать случайных ошибок, защитить персонал, оборудование.