В корзине пусто!
Малогабаритная установка напыления выполнена на базе вакуумного поста серии 2013-500 (камера уменьшенного размера).
В одной установке размещены средства откачки и управления.
Вакуумная установка обеспечивает в одном цикле напыление трех проводящих слоев с ионной очисткой кремниевых пластин Ø100 мм.
Технологические устройства:
Одновременно обрабатывается 6 пластин Ø100 мм.
Рабочий цикл после закрытия камеры включается автоматически: откачка, очистка, последовательное напыление трех металлов.
Все процессы автоматизированы.
Надежная система блокировок позволяет избежать случайных ошибок, защитить персонал, оборудование.
0 отзывов / Написать отзыв
Теги: Для нанесения проводящих слоев (металлизации) с предварительной ионной очисткой,