Малогабаритная установка напыления выполнена на базе вакуумного поста серии 2013-500 (камера уменьшенного размера).

В одной установке размещены средства откачки и управления.

Вакуумная установка обеспечивает в одном цикле напыление трех проводящих слоев с ионной очисткой кремниевых пластин Ø100 мм.

Технологические устройства:

• три магнетрона (Д100), каждый магнетрон оснащен поворотным экраном;
• ионный источник (ИИ-145);
• водоохлаждаемый стол.

Одновременно обрабатывается 6 пластин Ø100 мм.

Рабочий цикл после закрытия камеры включается автоматически: откачка, очистка, последовательное напыление трех металлов.

Все процессы автоматизированы.

Надежная система блокировок позволяет избежать случайных ошибок, защитить персонал, оборудование.