Вакуумная шлюзовая установка «Ника-12701» предназначена для плазмохимического травления пластин диаметром до 100 мм с контролем глубины травления. 

Вакуумная камера установки оснащена:

• Радиочастотным генератором плазмы РПГ-250 для создания индуктивной плазмы высокой плотности
• Столом высокочастотным автоматическим СВА-200
• Шлюзом для загрузки подложек
• Смотровыми окнами с двойными стеклами
  
• Подложкодержателем для подложек ∅100 мм и ∅50 мм
  

Установка имеет автоматическое программное управление, обеспечивающее проведение технологического процесса в следующих режимах:

а) наладочный режим - управление механизмами и устройствами для выполнения наладочных, ремонтно-профилактических работ;

б) ручной режим - управление элементами установки с соблюдением всех блокировок, исключающих возникновение внештатных ситуаций;

в) автоматический режим - реализация автоматического цикла технологической программы (технологического рецепта).