Откачка сухая, безмасляная. Средства откачки - крионасос и форвакуумный насос. Форвакуумный насос и компрессорная станция крионасоса размещаются за габаритами установки.

Вакуумная камера водоохлаждаемая, оснащена смотровыми окнами. Рабочий фланец - нижний. В нижнем положении - загрузка изделий, в верхнем положении выполняется рабочий цикл.

Технологические устройства установки НИКА-149:

- источник ионов ИИ-125 (с управляемой заслонкой);

- магнетрон кольцевой (с управляемой заслонкой);

- планетарная карусель с носителями изделий (управление вращением карусели и сателлитов);

- датчик температуры.

Блоки питания технологических устройств размещаются в стойке.

Скорость напыления никеля на детали вращения 4-5 мкм/час. 

Напыление других материалов возможно.

Электрические параметры
Максимальное потребление тока по фазам, А 32 А
Мощность, КВт 20 КВт
Напряжение питания, В 380 В
Подключение к сети TN-S
Максимальная потребляемая мощность, Вт 19 kW/19 кВт
Общие характеристики
Предельный вакуум, Па не более 3·10-4 Па
Рабочие газы аргон, азот, воздух
Рабочий вакуум, Па 6·10-3 Па
Время достижения рабочего вакуума, мин. не более 30 мин
Охлаждающая жидкость дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде
Расход охлаждающей жидкости, л. не более 15 л
Масса, кг не более 550 кг
Количество каналов газонапуска, шт 1

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Установка магнетронного напыления НИКА-149

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.149
  • Доступность: ㅤㅤ ㅤㅤ
  • Цена договорная


Теги: НИКА-149, 149