Откачка сухая, безмасляная. Средства откачки - крионасос и форвакуумный насос. Форвакуумный насос и компрессорная станция крионасоса размещаются за габаритами установки.

Вакуумная камера водоохлаждаемая, оснащена смотровыми окнами. Рабочий фланец - нижний. В нижнем положении - загрузка изделий, в верхнем положении выполняется рабочий цикл.

Технологические устройства установки НИКА-149:

- источник ионов ИИ-125 (с управляемой заслонкой);

- магнетрон кольцевой (с управляемой заслонкой);

- планетарная карусель с носителями изделий (управление вращением карусели и сателлитов);

- датчик температуры.

Блоки питания технологических устройств размещаются в стойке.

Скорость напыления никеля на детали вращения 4-5 мкм/час. 

Напыление других материалов возможно.

Электрические параметры
Мощность 20 кВт
Напряжение питания 380 В
Подключение к сети TN-S
Максимальная потребляемая мощность 19 кВт

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Установка магнетронного напыления НИКА-149

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.149
  • Доступность: Предзаказ