В корзине пусто!
Откачка сухая, безмасляная. Средства откачки - крионасос и форвакуумный насос. Форвакуумный насос и компрессорная станция крионасоса размещаются за габаритами установки.
Вакуумная камера водоохлаждаемая, оснащена смотровыми окнами. Рабочий фланец - нижний. В нижнем положении - загрузка изделий, в верхнем положении выполняется рабочий цикл.
Технологические устройства установки НИКА-149:
- источник ионов ИИ-125 (с управляемой заслонкой);
- магнетрон кольцевой (с управляемой заслонкой);
- планетарная карусель с носителями изделий (управление вращением карусели и сателлитов);
- датчик температуры.
Блоки питания технологических устройств размещаются в стойке.
Скорость напыления никеля на детали вращения 4-5 мкм/час.
Напыление других материалов возможно.
0 отзывов / Написать отзыв
Теги: НИКА-149, 149