Яндек.еика

Откачка сухая, безмасляная. Средства откачки - крионасос и форвакуумный насос. Форвакуумный насос и компрессорная станция крионасоса размещаются за габаритами установки.

Вакуумная камера водоохлаждаемая, оснащена смотровыми окнами. Рабочий фланец - нижний. В нижнем положении - загрузка изделий, в верхнем положении выполняется рабочий цикл.

Технологические устройства установки НИКА-149:

- источник ионов ИИ-125 (с управляемой заслонкой);

- магнетрон кольцевой (с управляемой заслонкой);

- планетарная карусель с носителями изделий (управление вращением карусели и сателлитов);

- датчик температуры.

Блоки питания технологических устройств размещаются в стойке.

Скорость напыления никеля на детали вращения 4-5 мкм/час. 

Напыление других материалов возможно.

Электрические параметры
Мощность 20 КВт
Напряжение питания 380 В
Подключение к сети TN-S
Максимальная потребляемая мощность 19 кВт
Общие характеристики
Время достижения рабочего вакуума не более 30 мин
Количество каналов газонапуска 1
Максимальное потребление тока по фазам 32 А
Масса не более 550 кг
Объем охлаждающей жидкости не более не более 15 л
Охлаждающая жидкость дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде
Предельный вакуум не более 3·10-4 Па
Рабочие газы аргон, азот, воздух
Рабочий вакуум 6·10-3 Па

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Установка магнетронного напыления НИКА-149

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.149
  • Доступность: На складе
  • Цена договорная