Установка изготавливается на базе НИКА-2014 производства ООО "ЛВТ+". Ника-2014 - серия малогабаритных вакуумных шлюзовых установок травления или осаждения полупроводников и диэлектриков в среде высокоплотной плазмы установки выпускаются с шлюзовой и ручной загрузкой.

В состав Ника-2014 штатно входят:

• безмасляная откачка на основе турбомолекулярного насоса
• рабочая камера установки диаметром З50х300 мм
• шлюз для перегрузки подложек без нарушения вакуума в рабочей камере;
• радиочастотный плазменный генератор РПГ-250 для создания индуктивной плазмы высокой плотности;
• водоохлаждаемый/нагреваемый стол с подачей высокочастного смещения
• гелиевый теплоотвод
• 4-6 каналов газонапуска
• лазерная система контроля скорости и глубины травления.

- Установка НИКА-2014-ПХТ обеспечивает равномерность обработки 3% на диаметре 200 мм.

- Камера оснащена подъёмным механизмом для проведения обслуживания.