Пример реализации компактной специализированной вакуумной установки ионного травления изделий Заказчика на базе вакуумного поста "НИКА-2012".

Камера водоохлаждаемая со смотровыми окнами, размер камеры Ø500 х 400 мм.

Tехнологические устройства:

ионный источник типа ускоритель с анодным слоем (УАС) ИИ-125;
встроенная система водоподготовки (СОВА).

В одном автоматическом цикле выполняется процесс травления восьми изделий.

После загрузки изделий в камеру, оператор её закрывает, рабочий цикл включается автоматически, по заданному рецепту (программе) выполняется рабочий цикл.

Электрические параметры
Максимальное потребление тока по фазам, А	36
Мощность, кВт	11,2
Напряжение питания, В	380В (±10)
Общие характеристики
Предельный вакуум, Па	не более 3×10⁻⁴
Рабочий вакуум, Па	не более 1×10⁻³
Время достижения предельного вакуума, мин.	не более 2 часов
Габаритные размеры (ДхШхВ), мм	1430 х 1000 х 2000
Масса, кг	не более 650
Количество каналов газонапуска, шт	2
Вакуумный пост
Средства откачки	ФВН Форвакуумный насос ISP-250