Пример реализации компактной специализированной вакуумной установки ионного травления изделий Заказчика на базе вакуумного поста "НИКА-2012".

Камера водоохлаждаемая со смотровыми окнами, размер камеры Ø500 х 400 мм.

Tехнологические устройства:

  • ионный источник типа ускоритель с анодным слоем (УАС) ИИ-125;
  • встроенная система водоподготовки (СОВА).

В одном автоматическом цикле выполняется процесс травления восьми изделий.

После загрузки изделий в камеру, оператор её закрывает, рабочий цикл включается автоматически, по заданному рецепту (программе) выполняется рабочий цикл.

Электрические параметры
Максимальное потребление тока по фазам 36 А
Мощность 11,2 КВт
Напряжение питания 380В +10-15 %
Общие характеристики
Время достижения предельного вакуума не более 2 часов
Количество каналов газонапуска 2
Масса не более 500 кг
Предельный вакуум не более 3·10-4 Па
Рабочие газы Азот, аргон, кислород, водород, гелий
Вакуумный пост
Средства откачки ФВН Форвакуумный насос ISP-250

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Установка ионного травления НИКА-130

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.130
  • Доступность: На складе
  • Цена договорная