Пример реализации компактной специализированной вакуумной установки ионного травления изделий Заказчика на базе вакуумного поста "НИКА-2012".

Камера водоохлаждаемая со смотровыми окнами, размер камеры Ø500 х 400 мм.

Tехнологические устройства:

ионный источник типа ускоритель с анодным слоем (УАС) ИИ-125;
встроенная система водоподготовки (СОВА).

В одном автоматическом цикле выполняется процесс травления восьми изделий.

После загрузки изделий в камеру, оператор её закрывает, рабочий цикл включается автоматически, по заданному рецепту (программе) выполняется рабочий цикл.

Электрические параметры
Максимальное потребление тока по фазам, А	36 А
Мощность, КВт	11,2 КВт
Напряжение питания, В	380В +10-15 %
Общие характеристики
Время достижения предельного вакуума, мин.	не более 2 часов
Количество каналов газонапуска, шт	2
Масса, кг	не более 500 кг
Предельный вакуум, Па	не более 3·10-4 Па
Рабочие газы	Азот, аргон, кислород, водород, гелий
Вакуумный пост
Средства откачки	ФВН Форвакуумный насос ISP-250