В корзине пусто!
Серия НИКА-2013: современный аналог машин серии УВН-73...75. Многолетний опыт работы компании показал необходимость создания серии установок для серийного производства под большие загрузки/партии продукции в электронике и машиностроении. Специально под эти задачи создана серия НИКА-2013. На базе НИКА-2013 уже 7 лет изготавливаются установки различного назначения.
В базовой комплектации серии (вакуумный пост НИКА 2013ВП) уже предусмотрены: вакуумная камера (Ø700х550 мм) со смотровыми окнами, подвижными и поворотными горизонтальными фланцами для размещения технологических устройств и загрузки, интегрированные в стойку (шкаф), где штатно размещены системы управления, откачки, охлаждения. В вакуумных постах серии НИКА-2013 предусмотрены: •в камере - системы охлаждения, сменных защитных экранов. •на заднем фланце ( фланце устройств) - 7 унифицированных посадочных мест для технологических устройств •на переднем (рабочем) фланце - унифицированные посадочные места для размщения смотровых окон с заслонками, ввода вращения, которые могут быть использованы для размещения технологических устройств •в стойке - предусмотрены посадочные места для размещения блоков вакуумной установки, •загрузка размещается либо на вертикальной карусели, либо на горизонтальном барабане на рабочем переднем фланце.Основные технические параметры •Площадь размещения установки с зоной обслуживания – 7м2. •Электропитание: 380В, 50 Гц, 8..15 кВт. •Габариты: 1620..1800 х 1420..2400 х 1900..2100. •Масса: 500..950 кг.Остальные подключения: вода, рабочие газы, сжатый воздух - определяются техническими требованиями проектируемой установки.Установки серии НИКА-2013 очень удачны и для серийного производства, уже несколько лет работают на отечественных предприятиях. Гибкая модульная конструкция позволяет легко проводить их последующие модернизации. На базе серии НИКА-2013 изготовлена отдельная серия установок с уменьшенной камерой - НИКА-2013-500.
Установка напыления проводящих слоёв НИКА-123
Цена договорная
Для многослойного нанесения проводящих слоев (металлизации) на кремниевые подложки ∅100 мм в одном цикле с предварительной ионной очисткой.
Травление кремниевых пластин высокочастотным магнетроном
Четыре слоя (проводящие, резистивные) в одном цикле.
Установка специального применения со сменными барабанами
Многослойное напыление с 3-х мишеней с предварительной очисткой в одном цикле
Двухстороннее вакуумное термическое и электронно-лучевое напыление с ионной очисткой
Двухстороннее скоростное магнетронное напыление "толстых" металлических слоев на подложки