В корзине пусто!
Рабочий диапазонот 1·10⁻² до 1·10⁵ ПаДиапазон измеренийот 1·10⁻¹ до 1·10³ Па
Рабочий диапазонот 1·10⁻⁷ до 1 ПаДиапазон измеренийот 1·10⁻⁴ до 1·10⁻¹
Магнетронное и термическое напыление 3-х тонких пленок с контролем толщины.
двухстороннее магнетронное напыление толстой (1..50 мкм) металлизации
Магнетронное напыление с ионной очисткой с трёх мишеней.
Плазмохимическое травление в вакууме
