Газоразрядный ионный источник, генерирующий пучок трубчатой формы. Благодаря тому, что позволяет сконцентрировать до 150 мА ионного тока в пятне диаметром 25 мм, оптимально подходит для ионного распыления мишеней небольшого размера.

По принципу действия источник ионов - ускоритель с анодным слоем (УАС). Большая величина ионного тока, сфокусированного в пятне небольшого диаметра позволяет производить эффективное распыление металлов, диэлектриков и полупроводников. За счёт малого размера области распыления она представляет собой практически точечный источник, что позволяет получить высокую равномерность толщины напыляемого слоя при соответствующей геометрии напылительной системы.

Ионный источник
Форма пучка Полый цилиндрический
Диаметр пучка 24 мм
Энергия ионов 500..2500 эВ
Максимальный ток пучка 120 мА
Газовая эффективность 9 мА/sccm
Максимальный угол расхождения пучка

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Источник ионов D52

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.212.01
  • Доступность: Предзаказ

Доступные опции


Рекомендуемые товары

Источник ионов L145

Источник ионов L145

Линейный источник ионов с высокой однородностью плотности ионного тока по ширине пучка.Газоразрядные..

0.00 р. Без НДС: 0.00 р.

Источник ионов L125

Источник ионов L125

Принцип работы устройства заключается в ионизации атомов рабочего газа в разряде постоянного тока в ..

0.00 р. Без НДС: 0.00 р.