Магнетрон для прямоугольных мишеней номинальной длиной 400 мм.
Назначение: эффективное распыление мишеней из проводящих материалов ионной бомбардировкой в плазме аномального тлеющего разряда.
В режиме постоянного тока возможно нанесение металлов, сплавов (в том числе резистивных) с сохранением стехиометрического состава.
При использовании импульсного среднечастотного питания возможно напыление полупроводников, а также диэлектриков в реактивном режиме из металлических мишеней.
Конструкция позволяет производить различные комбинации размещения магнетрона в камере.
Устройства производства ООО "Лаборатория вакуумных технологий плюс" используются в различных системах для выполнения разнообразного спектра задач.
На фото ВЧ-магнетрон М-400 производства "ЛВТ+" в комплекте с согласующим устройством СУРА на промышленной установке магнетронной установке – EPOS-PVD-440 ООО ЭПОС-Инжиниринг
Фото с сайта https://epos-nsk.ru/portfolio/promyshlennaya-magnetronnaya-ustanovka/
Измерение давления | |
Диапазон рабочих давлений, Па | 0,01..10 Па |
Магнетрон | |
Максимальная толщина мишени | 10 мм |
Длина мишени | 400 мм |
Ширина мишени | 94 мм |
Максимальный ток, А | 20 А |
Выходные параметры | |
Мощность, Вт | 12000 Вт |
Напряжение | 2000 В |
Магнетрон-400
- Производитель: Beams&Plasmas
- Код товара: ЛЦМК.231
- Доступность: ㅤㅤ ㅤㅤ
-
Цена договорная
Доступные опции
Теги: Магнетрон, Магнетрон-400