Магнетрон для прямоугольных мишеней номинальной длиной 400 мм.

Назначение: эффективное распыление мишеней из проводящих материалов ионной бомбардировкой в плазме аномального тлеющего разряда.

В режиме постоянного тока возможно нанесение металлов, сплавов (в том числе резистивных) с сохранением стехиометрического состава.

При использовании импульсного среднечастотного питания возможно напыление полупроводников, а также диэлектриков в реактивном режиме из металлических мишеней.

Конструкция позволяет производить различные комбинации размещения магнетрона в камере.

Устройства производства ООО "Лаборатория вакуумных технологий плюс" используются в различных системах для выполнения разнообразного спектра задач.

На фото ВЧ-магнетрон М-400 производства "ЛВТ+" в комплекте с согласующим устройством СУРА на промышленной установке магнетронной установке – EPOS-PVD-440 ООО ЭПОС-Инжиниринг

Фото с сайта https://epos-nsk.ru/portfolio/promyshlennaya-magnetronnaya-ustanovka/

Магнетрон
Диапазон рабочих давлений 0,01..10 Па
Максимальная толщина мишени 10 мм
Длина мишени 400 мм
Ширина мишени 94 мм
Максимальный ток, А 20 А
Выходные параметры
Мощность, Вт 12000 Вт
Напряжение 2000 В

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Магнетрон L400

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.231
  • Доступность: На складе
  • Цена договорная


Доступные опции