Использование ионных источников обеспечивает надежное травление (очистку) подложек, высокую адгезию материала и структурное совершенство напыляемых пленок.

Ионные источники с холодным катодом производства ООО «ЛВТ+» относятся к классу ускорителей с анодным слоем (УАС). Отличаются простотой и удобством в эксплуатации и высокой надежностью. Выдерживают более 10 лет интенсивной эксплуатации. Процессы перезарядки быстрых ионов позволяют использовать данные ионные источники без катодов-компенсаторов, что упрощает эксплуатацию. Ионные источники типа УАС могут работать в высоковольтном режиме, также возможен сильноточный режим. Выпускаются две конфигурации: круглые, с трубчатым пучком, и протяженные, у которых есть значительный линейный участок.

Задачи, решаемые при помощи данных источников:

• ионно-лучевое распыление (работа с небольшими дорогостоящими мишенями),
• ионное ассистирование при напылении,
• ионное травление подложек.

Использование ионных источников обеспечивает надежное травление (очистку) подложек, высокую адгезию материала и структурное совершенство напыляемых пленок.